板状アルミナは、サファイア基板研磨パッドの研磨材として使用できますか？
回答：はい。 板状アルミナ（板状のα-Al₂O₃）は、サファイア基板用固定研磨パッドの研磨充填材として適しており、主に粗研磨および中間研磨工程で使用されます。サファイアは単結晶α-アルミナであるため、板状アルミナはサファイアと同じ材料系であり、異物混入を防ぐことができます。
利点
- スライド研磨機構：平坦な六角形の板状粒子は、圧力下でサファイア表面に平行に整列する傾向があります。鋭利なエッジによる引っ掻きではなく、表面接触によるスライド式微細切削を行います。溶融白色アルミナと比較して、深い傷や表面下損傷を大幅に低減し、LEDエピタキシャル成長率を向上させます。
- モース硬度9、サファイアと同等の硬度。スライスやラッピング後の表面下損傷を効率的に除去します。シリカ単体では除去率が低すぎます。
- 高純度要件： LEDの性能に影響を与えるサファイア表面への金属イオン汚染を防ぐため、高純度α相板状アルミナ（Al₂O₃ ≥99.9%、低Fe、Na、Si）が必要です。
