半導体研磨用白色溶融アランダムアロキシドWA

半導体研磨用白色溶融アランダムアロキシドWA

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半導体研磨用白色溶融アランダムアロキシドWA

白色溶融アルミナは、高品質のアルミナを電気アーク炉で 2000 以上で溶融し、冷却することによって製造されました。主な結晶相 α-Al2O3 で白色です。

 半導体研磨用白色溶融アランダムアロキシドWA

 

 

FEPA標準微粉粒度比較表

サイズ D3(ええと) D50(1個) D94(ええと)
F230 82 53.0±3.0 34
F240 70 44.5±2.0 28
F280 59 36.5±1.5 22
F320 49 29.2±1.5 16.5
F360 40 22.8±1.5 12
F400 32 17.3±1.0 8
F500 25 12.8±1.0 5
F600 19 9.3±1.0 3
F800 14 6.5±1.0 2
F000 10 4.5±0.8 1
F1200 7 3.0±0.5 1
F1500 5 2.0±0.4 0.8
F2000 3.5 1.2±0.3 0.5

JIS規格微粉粒度比較表

サイズ D0 D3 D50 D94
240# ≤127 ≤103 57±3.0 40以上
280# ≤112 ≤87 48±3.0 ≧33
320# ≤98 ≤74 40±2.5 ≧27
360# ≤86 ≤66 35±2.0 ≧23
400# ≤75 ≤58 30±2.0 20以上
500# ≤63 ≤50 25±2.0 16歳以上
600# ≤53 ≤41 20±1.5 ≧13
700# ≤45 ≤37 17±1.5 ≧11
800# ≤38 ≤31 14±1.0 9人以上
1000# ≤32 ≤27 11.5±1.0 ≧7
1200# ≤27 ≤23 9.5±0.8 ≧5.5
1500# ≤23 ≤20 8±0.6 ≧4.5
2000# ≤19 ≤17 6.7±0.6 ≧4.0

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