半導体研磨用白色溶融アランダムアロキシドWA
白色溶融アルミナは、高品質のアルミナを電気アーク炉で 2000 以上で溶融し、冷却することによって製造されました。主な結晶相 α-Al2O3 で白色です。
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FEPA標準微粉粒度比較表
JIS規格微粉粒度比較表 |
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| サイズ | D0 | D3 | D50 | D94 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 240# | ≤127 | ≤103 | 57±3.0 | 40以上 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 280# | ≤112 | ≤87 | 48±3.0 | ≧33 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 320# | ≤98 | ≤74 | 40±2.5 | ≧27 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 360# | ≤86 | ≤66 | 35±2.0 | ≧23 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 400# | ≤75 | ≤58 | 30±2.0 | 20以上 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 500# | ≤63 | ≤50 | 25±2.0 | 16歳以上 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 600# | ≤53 | ≤41 | 20±1.5 | ≧13 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 700# | ≤45 | ≤37 | 17±1.5 | ≧11 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 800# | ≤38 | ≤31 | 14±1.0 | 9人以上 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1000# | ≤32 | ≤27 | 11.5±1.0 | ≧7 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1200# | ≤27 | ≤23 | 9.5±0.8 | ≧5.5 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1500# | ≤23 | ≤20 | 8±0.6 | ≧4.5 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 2000# | ≤19 | ≤17 | 6.7±0.6 | ≧4.0 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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