アルミナセラミック基板の研磨には何が使用されますか?白色溶融アルミナ粉末

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白色溶融アルミナ/コランダム/電溶融アルミナ粉末(主成分:α‐Al₂O₃)は、高純度、高硬度、優れた自己研磨性能、および優れた化学的安定性を特徴としています。結晶構造および熱膨張係数においてアルミナセラミック基板との適合性が高く、不純物含有量も極めて低いため、アルミナセラミック基板加工における主要な精密研削・研磨媒体として用いられます。
アルミナセラミック基板の加工において、白色溶融アルミナ粉末は、焼結後の精密研削および最終研磨に主に用いられる。優れた平面度を実現し、表面下の微細亀裂を除去するために、一般的には、粒径の異なる白色溶融アルミナ粉末の懸濁液を、粗粒から微粒へと段階的に使用する。
主な化学組成(%)
Al₂O₃ Fe₂O₃ Na₂O
99.2〜99.7 0.03〜0.10 0.23〜0.32
白色溶融アルミナの物理的および化学的性質
アイテム 価値
モース硬度 9.0
かさ密度 1.75〜1.95 g/cm³
真の密度 3.95 g/cm³
かさ比重 3.60
融点 2250℃
最高使用温度 1900℃
アルミナセラミック基板研磨用白色溶融アルミナ/コランダム/電溶融アルミナ粉末の一般的なグレード
FEPA欧州規格:F230、F240、F280、F320、F360、F400、F500、F600、F800、F1000、F1200、F1500、F2000
JIS日本規格:#240、#280、#320、#360、#400、#500、#600、#700、#800、#1000、#1200、#1500、#2000、#2500、#3000、#4000、#6000、#8000、#10000
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