アルミナセラミック基板の研磨には、どのような研磨剤が使用されますか？
アルミナセラミック基板の粉砕には、一般的に酸洗浄および水蒸気分級された白色溶融アルミナ、すなわち電気溶融アルミナ／炭化ケイ素微粉末が用いられる。
材料の適合性：白色溶融アルミナは、アルミナセラミック基板と同じα-アルミナ基材を使用しており、熱膨張係数も類似しています。これにより、研削時のエッジの欠けや表面下の微細な亀裂が軽減され、基板の歩留まりが向上します。
白色溶融アルミナ／白色溶融酸化アルミニウム／白色コランダム／WFAの主な利点
- 低不純物制御：酸洗浄工程により鉄不純物が低減されます。低ナトリウム処方により、基材への黒点汚染を防ぎ、後続の金属化およびコーティング工程の安定性を確保します。
- 水圧選別：粗大粒子を厳密に選別することで、基材表面の傷のリスクを低減し、研削後の均一な表面テクスチャを実現します。
- 優れた自己研磨性能：モース硬度9、安定した切削能力、低研削発熱。両面研削盤用の湿式研削スラリーの調製に適しています。
- 完全な仕様: F320 / F400 / F600 / F800 / F1000 / F1200 / F1500 をカバー、
- 360#、400#、500#、600#、700#、800#、1000#、1200#、1500#、2000#、3000#、4000#、6000#の超微粒子粉末シリーズ。ご要望に応じて、特注の粒度も承ります。
アルミナセラミック基板研削用白色溶融アルミナの粒度選定
- 粗研削（切削痕と大きな加工代を除去する）：F320、F400、F600
- 中程度の研削（平面研磨および平行度の向上）：F800、F1000
- 予備微粉砕（CMP鏡面研磨前の前処理）：F1200、F1500、Wシリーズ超微細白色溶融アルミナ
補足事項
- 選定要件：Na₂OおよびFe₂O₃の不純物を厳密に管理すること。基板の傷や金属化欠陥を防ぐため、過大粒子を含まない水理分級粉末を採用すること。